TWGTechnical Working Group

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3D/FO Process Integration

 

任務目標


3D Chiplet Stack

Fan-Out Pilot Line

CPO Integration

 

研發規劃


2023 2023-2025 2026-2028

Wafer Level Fan-out

2D Chiplet Integration

Reconstituted Wafer to Wafer

logic+ memory tiles

3D Chiplet Integration

CPO, Qubit, super TGP

 

SIG 成員


.總召集人:瑞峰半導體 戴國瑞 董事長

副召集人:工研院 張香鈜 經理

 

運作機制


.聯盟例會:每年 2 次

.SIG 會議:待定

 

2023 預計產出


Time Action Item Expected Output
2023/06/30

Laser de-bond

12” Laser de-bond baseline Report
2023/12/31

Fan-out process integration

5P4M FO process Report